超纯水处理系统一般由预处理、二级RO系统、EDI装置及抛光混床进行系统化水处理，超纯水处理系统中的二级RO系统包括系统泵、反渗透装置、清洗装置及中间水箱。超纯水处理系统中的反渗透装置包括反渗透膜及膜壳、机架、电控箱。超纯水处理系统中的EDI装置中包含有由阴膜、阳膜和隔板多组交替排列电渗析器。超纯水，是一般的纯水处理设备很难达到的处理程度，通常采用预处理、 反渗透技术、超纯水处理设备以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换(抛光)、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。

超纯水处理系统的工艺流程大致分成以下几种：1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为： 原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

2.采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺 流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复 床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点 .

超纯水处理系统流程简单、配置合理有效、处理效率高，例如以自来水水质的进水，其出水水质指标电阻率可至≥17.5MΩcm。